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       85964177
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  • 產品名稱: 固態射頻電源

固態射頻電源常見的型號包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ 64MHZ,最常應用于等離子加工。我們可以根據客戶的需要,提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等級設備。

 

產品特性:

 

  • 頻率穩定度±3%

 

  • 寬負載適應能力

 

  • 優越的可靠性能

 

應用范圍:

 

    應用于所有等離子加工,包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD 和集成電路,太陽能電池,平板顯示器,LED,數據儲存設備的制造

 

技術參數表:

 

型號
 

詳細指標

(點擊查看)

頻率
(MHz

輸出功率
(W

供電電壓
(V

效率
(%

散熱方式
 

WSPS-13.56-1000

13.56

1000

220V

65

風冷

WSPS-13.56-3000

13.56

3000

220V

65

水冷

WSPS-27-1000

27

1000

220V

65

風冷

WSPS-27-3000

27

3000

220V

65

水冷

WSPS-64-1000

64

1000

220V

65

風冷

WSPS-64-3000

64

3000

220V

65

水冷

WSPS-162-1000

162.5

1000

220V

65

風冷

WSPS-162-3000

162.5

3000

220V

65

水冷

WSPS-325-800

325

800

220V

60

風冷

WSPS-325-1500

325

1500

220V

60

水冷

WSPS-325-3000

325

3000

220V

60

水冷

WSPS-433-100

433

100

28V

65

風冷

下載附件:

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